レーザー微細加工

レーザー微細加工とは？

レーザー光を極めて小さな面積に集めて行うレーザー加工は、微小領域の加工に適しています。その理由のひとつが出力や繰り返し周波数、発振方式(パルス／連続発振)、パルス幅を自由に変更でき、必要な箇所に最適なエネルギーを照射できることです。

レーザー微細加工の種類？

レーザー微細加工には、「微細穴加工」「微細溝加工」「微細切断加工」「微細マーキング」「薄膜除去」「微細溶接」などがあり、医療機器や半導体などのナノテク電子部品、航空分野、自動車分野で活用されています。

レーザー微細加工の原理？

レーザー微細加工の利用が飛躍的に高まっている背景には、パルス幅の短い「ナノ秒レーザー」「フェムト秒レーザー」「ピコ秒レーザー」などの超短波パルスレーザーの存在があります。ミクロンサイズの微細加工では熱損傷を回避して「穴あけ」「切断」「マーキング」などを行う必要がありますが、超短波パルスレーザーなら熱損傷が起きる前に材料の結合を壊して原子化するため、低温で加工を行うことが可能です。この現象をアプレーションと呼び、これを利用した加工を「アプレーション加工」と言います。